Ruténiový cieľ

Antioxidant, odolnosť proti korózii-a rovnomerne vytváraný-vrstvový film, ktorý poskytuje vysoko spoľahlivé riešenie na ukladanie tenkých-vrstvov pre polovodičové aplikácie a aplikácie na ukladanie údajov.

Ruténiová naprašovacia terča je platinová skupina ušľachtilých kovov vyrobená z -ruténia vysokej čistoty (Ru) prostredníctvom rafinácie, tavenia, kovania a presného obrábania. Primárne sa používa pri fyzikálnom nanášaní pár (PVD) magnetrónovým naprašovaním. Tento produkt sa vyznačuje vysokým bodom topenia, vysokou tvrdosťou, vynikajúcou odolnosťou voči oxidácii a chemickou stabilitou, čo umožňuje výrobu rovnomerných a hustých filmov ruténia. Rozsiahle uplatnenie nachádza v pokročilej polovodičovej pamäti, prepojení integrovaných obvodov, vrstiev difúznej bariéry a zariadení na ukladanie a zobrazovanie údajov.

Zaslať požiadavku

Popis produktu

Táto séria ruténiových terčov sa vyrába z vysoko{0}}čistých ruténiových surovín, čím sa dosahuje vysoká hustota a jednotná mikroštruktúra prostredníctvom oblúkového tavenia a procesov zjemňovania zŕn. Produkty sú dostupné v rôznych konfiguráciách vrátane planárnych terčov a rotačných terčov a podporujú služby backplate viazania indium-/Elastic Body-, vďaka čomu sú vhodné pre aplikácie DC naprašovania.

Funkcia

Vysoká čistota, konvenčná kvalita, dostupná v špecifikáciách ultra{0}}vysokej čistoty.
High hardness, excellent wear resistance, and superior oxidation and corrosion resistance.

Príliš vysoký bod topenia s vynikajúcou-stabilitou pri vysokej teplote.
Film vykazuje rovnomerné nanášanie a vysokú hustotu, vďaka čomu je vhodný pre pokročilé procesy výroby polovodičov.

Špecifikácie a modely

Pre prispôsobené rozmery, hrúbku, čistotu alebo technické špecifikácie nás neváhajte kontaktovať. Môžeme poskytnúť prispôsobené materiálové riešenia na základe vášho naprašovacieho zariadenia, požiadaviek na povrchovú úpravu a rozmerových špecifikácií.

Klasifikačný rozmer	Typ produktu	Základné vlastnosti
Stupeň čistoty	Rôzne stupne čistoty	Všeobecné{0}}účely pre polovodiče, displeje a pamäťové zariadenia.
Formát produktu	Kruhový planárny ruténiový terč	Štandardné špecifikácie, kompatibilné s väčšinou naprašovacích zariadení.
	Ruténiový terč-obdĺžnikového/blokového tvaru	Vhodné pre aplikácie veľkých{0}}plošných náterov.
	Otočný ruténiový terč	Vhodné pre veľké-plošné, vysoko{1}}účinné nanášanie.

Aplikácia

Polovodiče: DRAM/MIM kondenzátorové elektródy, prepájajú vrstvy difúznej bariéry.
Rozšírené úložisko: magnetické úložisko, pamäť s fázovou{0}}zmenou, odporová pamäť.
Integrovaný obvod: Medená prepojovacia základná vrstva, bariérová vrstva a logické zariadenie.
Zobrazovacie zariadenia: ploché-panelové obrazovky, tenkovrstvové elektródy OLED-.
Optoelektronika a fotovoltika: Optické povlaky, funkčné vrstvy fotovoltaických článkov.
Precízna elektronika: Elektrické kontakty odolné proti opotrebeniu{{0}, odpory s hrubou vrstvou-, snímače.

Populárne Tagy: ruténium cieľ, Čína ruténiový cieľ výrobcovia, dodávatelia, továreň